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Automatisierungslösungen für die Halbleiterindustrie
Stets die passende Lösung für Ihre Aufgaben:
Rexroth bietet Ihnen das weltweit größte Automatisierungsspektrum für die Halbleiterherstellung – technologieübergreifend, skalierbar und mit einem einzigartigen Anwendungs-Know-how.
Mechatronische Module für ruckfreies Wafer-Handling, berührungsloser Transport durch Prozesskammern und präzises Positionieren im Nanometerbereich: Die Halbleiterindustrie stellt besondere Anforderungen an die Automatisierung. Seit mehr als einem Jahrzehnt bündelt Rexroth die weltweite Anwendungserfahrung in dieser Branche. Sie fließt ständig in die Entwicklung neuer Komponenten, Module und Programme für den gesamten Front-End und Back-End Bereich ein.
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Die Metropole für Steuerungstechnik
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